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FF分子泵

FF分子泵性能参数、使用范围(光学玻璃镀膜工业、覆膜工艺、真空冶金、照明)
作者 Admin01 浏览 发布时间 16/03/22

一、概述


    分子泵是一种高真空获得设备。它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子使之获得定向速度,从而被压缩,被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。


二、使用范围

FF分子泵性能参数、使用范围(光学玻璃镀膜工业、覆膜工艺、真空冶金、照明)FF分子泵性能参数、使用范围(光学玻璃镀膜工业、覆膜工艺、真空冶金、照明)



 

三、性能参数表

产品型号 FF-160/700
进气口法兰 DN160LF DN160CF
抽气速率L/S (对空气) 700
压缩比N2 >109
H2 6×106
极限压缩(Pa) 6×107  6×108
使用轴承 陶瓷脂润滑轴承
启动时间(min) <4
额定工作转速(rpm) 36000
建议采用前级泵L/S 4-8
冷却方式以及水温
水冷,≤25℃
安装方式
任意角度
泵体烘烤温度℃
<100
环境温度℃
5-40
重量(kg) 19
产品型号 FF-250/1600
进气口法兰 DN250: ISO-K(LF250)
抽气速率L/S (对空气) 1600
压缩比N2 108
H2 5×102
极限压缩(Pa) 10-6
使用轴承 精密陶瓷轴承
启动时间(min) 8
额定工作转速(rpm) 27000
建议采用前级泵L/S 8
冷却方式以及水温
水冷,<25℃
环境温度℃
5-40
安装方式
竖直±5°
重量(kg) 40
产品型号 FF-200/1200
FF-200/1200T
进气口法兰 DN200LF | DN200CF
DN200LF | DN200CF
抽气速率L/S (对空气) 1200
1200
压缩比N2 >109
>109
H2 6×103
6×103
极限压缩(Pa) 6×10-6  6×10-7
6×10-6  6×10-7
使用轴承 精密机械轴承
精密陶瓷轴承
启动时间(min) <6
<6
额定工作转速(rpm) 24000
24000
冷却方式以及水温
水冷,<25℃
水冷,<25℃
安装方式
竖直±5°
竖直±5°
重量(kg)
39
39
润滑方式 油润滑
油润滑